名稱/標題; TANAKA半導體用氣體控制系統(tǒng)
SUPER TORR 系列
S-TORR系列是，專門為百萬比特應(yīng)用而開發(fā)的超高純度氣體用調(diào)整器。
基于在半導體加工氣體線方面有業(yè)績的TORR系列調(diào)整器技術(shù)而開發(fā)銷售10年來一直廣受好評。
把輕便化，小型化做為目標而設(shè)計的“S-TORRⅡ系列”，再加上根據(jù)用途不同而規(guī)格細分化的“S-TORRⅢ系列”充實了產(chǎn)品種類。
主要特長：
在0.1x10-6m等級10的無塵室進行組裝。（除S-TORRⅢ非拋光品以外）
連接部分采用焊接（主體，接頭），金屬密封，從而減少了泄露量。
通過連接氣體金屬部分的合成電離拋光處理（注1）以及內(nèi)容積的縮小化實現(xiàn)了脫氣以及顆粒的極少化。
[S-TORRⅡ系列]應(yīng)用于腐蝕性氣體，擁有2大分類：連接氣體的金屬部位使用了高耐蝕耐熱鎳基合的[1800系列]，在重要部位使用了耐蝕耐熱鎳基合金的 [E1800系列]。
這延長了在腐蝕性氣體上的使用期限以及提高了安全性（注2）。
為了應(yīng)用與腐蝕性氣體，[S-TORRⅢ系列]將在重要部位采用了耐蝕耐熱鎳基合金的 [S-H系列]作為標準品。
S-TORRⅢ系列為了應(yīng)用于負壓控制以及低蒸汽壓氣體，備有[隔膜/sheet連接型]的A10系列。
備有適合各種氣體的樹脂，因此可處理好每個極其細微的部分。
S-TORRⅡ，Ⅲ系列內(nèi)部裝有過濾器，因此可以大幅減少內(nèi)部泄露（除S-TORRH50WV，S-TORR150系列以外）。
實施過氧泄露試驗，顆粒試驗等全套試驗（注：S-TORRⅢ系列顆粒量的保證功能另選配）。
雖然小型但是能實現(xiàn)高性能的流量特性。
全部機種均可制造為高壓氣體認證品。
（注1）S-TORRⅢ系列根據(jù)需求可應(yīng)用在3種拋光規(guī)格。
（注2）強腐蝕性氣體，腐蝕性氣體的保質(zhì)期根據(jù)用戶的使用方法存在很大的差異， Sus與耐蝕耐熱鎳基合金相比較而言，使用后者極大減少了故障的發(fā)生率。另外，還可以減少壓力表，隔膜等壁薄部分受侵蝕而發(fā)生的泄露現(xiàn)象。
